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什么是主動磁屏蔽（磁場消除器）？

更新時間：2023-04-14      瀏覽次數：539

近年來，電子束設備的性能有了顯著提高，但另一方面，允許的磁場也越來越嚴格。主動式磁屏蔽（磁場消除器）通過3軸磁場控制器以高靈敏度檢測干擾的波動磁場，通過由XYZ 3軸組成的亥姆霍茲線圈產生抵消它的磁場，并抑制磁場線圈內部的磁場波動。用于控制和穩定線圈的磁場發生器 通過引入該產品，即使在磁環境非常不穩定的地方，也可以充分展示電子束設備的性能。

也可以將抵消線圈安裝在設備的框架上。半導體測量和檢測設備無需占用大的安裝面積。


主要用途

  • ?電子顯微鏡（TEM/SEM）

  • ?電子束掩模寫入器

  • ?口罩檢查設備

  • ?質譜儀

  • ?聚焦離子束（FIB）


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