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關于光譜干涉式晶圓測厚儀SF-3的特征及用法

更新時間：2023-04-14      瀏覽次數：608

特征

  • 通過光學方法可以進行非接觸式和非破壞性的厚度測量。

  • 實現高測量再現性

  • 可實時高速監控拋光

  • 實現了長 WD（工作距離）并且易于集成到設備中

  • 從主機設備使用 LAN 通過 TCP/IP 通信進行控制

  • 可以進行多層厚度測量

  • 可測量臨時晶圓（臨時鍵合晶圓）各層厚度

用法

  • 各種晶圓（硅、其他化合物晶圓）的厚度測量

  • 融入各種工藝，如研磨、拋光、粘合等。

  • 晶圓以外的厚膜部件厚度測量

  • 300 毫米晶圓測繪系統

  • 通過對準精細圖案提供晶圓厚度和各種厚度信息

  • 配備高精度XY定位平臺（±2μm以下），實現高精度定位

  • 可以處理晶圓以外的形狀

  • 可以檢查測量點周圍的視野

  • 對應半導體用300mm晶圓

  • 與 MEMS 和傳感器設備兼容


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