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適合曝光裝置的溫度管理 Apiste精密空調機PAU系列

更新時間：2023-12-22      瀏覽次數：591

【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列

【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調機PAU系列

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只需連接就能簡單地實現精密空調。自由調溫包圍的空間的Apiste的精密空調機PAU系列

[最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調機PAU系列

在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，

你需要供應冷風，以穩定溫度。

PAU機組可實現要求溫度、濕度、清潔度的空氣。


進行局部空間的空調的“PAU系列"包括：

與整體空調相比，可以抑制能量消耗，更不用說高精度的溫度管理，

即使對于困難的濕度，也可以根據需要進行從低濕環境到潮濕環境的精密控制。

此外，通過與風扇過濾器單元的組合，可以輕松實現廣泛的清潔度管理。




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