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日本理音rion支持氫氟酸的液中粒子傳感器“KS-20F”

更新時間：2024-01-24      瀏覽次數：502

作為在最的先的進的半導體制造現場等的質量管理中支持氫氟酸溶液的液中微粒測量儀，里昂的能夠測量

  藥液中0.02μm粒子的液中微粒傳感器“KS-20F"。


迄今為止，我們也向市場投入了測量藥液中0.03μm粒子的液中粒子傳感器。 但是，在最的先的進的半導

體制造工序中，進一步推進了微小工藝技術，在半導體工廠和材料、藥液制造商的質量管理中，對于微小

粒子的測量的需求越來越大。 隨著汽車電動化、電氣產品智能化( IoT化)、ICT、AI、高速通信規格( 5G )

的普及，半導體市場持續活躍。 因此，通過開發和投入可測量藥液中0.02μm粒子的液中粒子傳感器，在

滿足這些市場需求的同時，以大型半導體制造商為首，謀求擴大相關材料、藥液制造商的訂單。


基于液中粒子傳感器“KS-20F"的系統構成


「KS-20F」

測量系統各產品名稱:(左下)液中微粒傳感器KS-20F、(左上)控制器KE-40B1、
(右)注射器采樣器KZ-31W


主要特點

    1 )支持氫氟酸溶液，實現最的小的可測粒徑0.02μm

    2 )可以任意地將粒徑區分設定在0.02~0.08μm范圍內

    3 )豐富的選項支持批量測量和在線測量

測量系統的結構示例

「KS-20F」



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