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德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產品介紹

更新時間：2024-08-22      瀏覽次數：390

德國FITOK氣動隔膜閥DPT系列的產品介紹

簡介

飛托克 DPT 系列兩段式氣動隔膜閥專用于半導體行業，其通過小流量和大流量之間的快速切換以緩和腔體內壓力上升，用于防止流體急驟流入半導體制程機臺的腔體等內部而造成微粒四處飛揚污染腔體。相對于傳統的通過增加旁路管道來調節壓力的方式，兩段式氣動隔膜閥更節省空間和成本。

圖1.jpg

特征

1.可在小流量和大流量間快速切換

2.鈷合金隔膜強度高、耐腐蝕，使用壽命長

3.極少產生顆粒和死區

4.內部無螺紋和彈簧

技術參數

圖2.jpg







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