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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室，由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。真空室材料由A5052制成，A5052對(duì)運(yùn)輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。
產(chǎn)品型號(hào)：SPE廠商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-04-11訪 問(wèn) 量：763
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| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) |
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showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
showashinku盒對(duì)盒式干法蝕刻裝置 濺射和離子板SPE
| 特征 | ||
| 1. | 緊湊型設(shè)備 尺寸（1000mmW×1100mmD×1600mmH） | |
| 2. | 單晶圓系統(tǒng)，生產(chǎn)率高，是批量生產(chǎn)的理想選擇 | |
| 3. | 加工質(zhì)量高 | |
| ? | 單晶圓類(lèi)型確保高蝕刻均勻性。 | |
| ? | 背面采用非接觸式氣冷系統(tǒng)，不會(huì)損壞基板背面 | |
| 4. | 采用高真空排氣裝置 | |
| 5. | 高可維護(hù)性 | |
| ? | 真空室的小型化便于維護(hù) | |
| 6. | 由于設(shè)備外形緊湊，安裝位置沒(méi)有限制 | |
| 1. | 設(shè)備配置 | ||||||||||
| 真空室主要是配備運(yùn)輸機(jī)器人的運(yùn)輸室，由蝕刻室和盒室三個(gè)房間組成。 真空室材料由A5052制成，A5052對(duì)運(yùn)輸室，蝕刻室和盒室都進(jìn)行了脫脂處理。 | |||||||||||
| 2. | 排氣系統(tǒng) | ||||||||||
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| 3. | 性能 | ||||||||||
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| 4. | 供電系統(tǒng) | ||||||||||
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| 5. | 氣體引入系統(tǒng) | ||||||||||
| CF/SF、氦、O2 質(zhì)量流量控制器 3 | |||||||||||
| 6. | 控制系統(tǒng) | ||||||||||
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| 7. | 外部尺寸 | ||||||||||
| 設(shè)備本體 1000mmW×1100mmD×1600mmH 設(shè)備重量 1000Kg | |||||||||||
| 8. | 公用事業(yè) | ||||||||||
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