一、SC-3100
●通過連接PC創建各種收集模式，并從硅晶片的表面和側面(斜角部分)收集(采樣)微量金屬污染物。
●設備引入簡單，不需要太多外部資源，不占用太多空間。
●由于工作是機械完成的，因此不需要操作員技能，任何人都可以輕松取樣。
●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-2000相比，可以減少工人造成的污染。
二、SC-8100
●具有即使在親水狀態的晶圓上也能收集污染物的功能，并且可以對硅以外的材料制成的晶圓或因體蝕刻等而導致表面變得粗糙的晶圓進行采樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當然，傳統的疏水表面采樣也是可能的。
三、SC-9100
●具有即使是親水狀態的晶圓也能捕集污染物的功能，可對硅以外的材料的晶圓或因整體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓進行取樣。
●放寬了對晶圓條件和采樣化學品類型的限制，使得可以回收重金屬以外的離子。
●當然，傳統的疏水表面采樣也是可能的。
●由于設備自動供給取樣化學品并移動支架，因此與SC-8100相比，可以減少工人造成的污染。
更新時間：2024-09-05 
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