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用于氣相分解的VPDBOX的技術參數

更新時間：2024-09-05      瀏覽次數：607

VPD BOX特點

●該設備利用氫氟酸自然汽化，在氣相狀態下分解硅片上的氧化膜和氮化膜，使硅片表面疏水化。

●與酸性液體、酸性氣氛接觸的部件采用PTFE、PVDF。

●請與半自動收集裝置SC系列配合使用。

規格參數

裝置名

VPDBOX-200-1M

VPDBOX-300-1M

最大處理張數

1 件

1 件

外形(W×D×H)(mm)(※1)

290×290×250

390×390×250

重量

6公斤

8公斤

使用場所

干凈的草案里面

干凈的草案里面

外部資源

N2氣（用于酸性氣氛吹掃）

N2氣（用于酸性氣氛吹掃）

4.png 


 

 

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